Το πρόγραμμα σπουδών περιλαμβάνει υποχρεωτικά μαθήματα, μαθήματα κατ’ επιλογήν υποχρεωτικά και μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία. Για την απόκτηση του ΔΜΣ απαιτείται η συμπλήρωση 90 πιστωτικών μονάδων οι οποίες προ κύπτουν από την παρακολούθηση και την επιτυχή εξέ ταση των μαθημάτων, και την εκπόνηση μεταπτυχιακής διπλωματικής εργασίας.

Τα μαθήματα, η διδακτική και ερευνητική απασχόληση, οι πρακτικές ασκήσεις, οι εργασίες και κάθε άλλου είδους εκπαιδευτικές και ερευνητικές δραστηριότητες, η επιτυχής παρακολούθηση των οποίων αποτελεί προϋπόθεση για την απονομή του τίτλου, ορίζονται ως εξής:

Α' Εξάμηνο

• Στατιστική Φυσική (7,5 ECTS)
• Κβαντική θεωρία της ύλης (7,5 ECTS)
• Διεργασίες κατασκευής μικρο- και νανο συστημάτων (7,5 ECTS)
• Φυσική Ημιαγωγικών Υλικών και Διατάξεων ( 7,5 ECTS)

Σύνολο 30 ECTS

Β' Εξάμηνο (Επιλογή πέντε (5) μαθημάτων από τα παρακάτω

• Εργαστηριακές Τεχνικές για Νανοϋλικά  (6 ECTS)
• Νανοηλεκτρονικές Διατάξεις (6 ECTS)
• Μικρο-νανο Αισθητήρες (6 ECTS)
• Ανάπτυξη και Χαρακτηρισμός Νανοδομών (6 ECTS)
• Βιονανοτεχνολογία για Αίσθηση και Οπτική Απεικόνιση (6 ECTS)
• Σχεδιασμός Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων (6 ECTS)
• Κβαντικοί Υπολογιστές (6 ECTS)
• Προσομοίωση και Μικρο- και Μακρο-σκοπικό επίπεδο (6 ECTS)
• Οπτικές και Μικρο-Οπτικές διατάξεις (6 ECTS)
• Μικρο-ρευστομηχανικά Συστήματα (6 ECTS)
• Οργανικά Νανο-Υλικά (6 ECTS)
• Εισαγωγή στον Μαγνητισμό και τα Μαγνητικά Υλικά (6 ECTS)
• Ειδικά κεφάλαια Νανοτεχνολογίας (6 ECTS)
• Μηχανική και Δυναμική Μικροσυστημάτων (6 ECTS)
• Μικρομηχανικά και Μικρορομποτικά Συστήματα (6 ECTS) 

Σύνολο 30 ECTS

Γ' Εξάμηνο

• ΕΚΠΟΝΗΣΗ ΜΕΤΑΠΤΥΧΙΑΚΗΣ ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗΣ ΕΡΓΑΣΙΑΣ (30 ECTS)

Σύνολο 30 ECTS

Τροποποίηση του προγράμματος μαθημάτων και ανακατανομή μεταξύ των εξαμήνων μπορεί να γίνει με αποφάσεις της ΕΔΙΕ που επικυρώνονται από τη Σχολή ΕΜΦΕ.

Το περιεχόμενο των μαθημάτων περιγράφεται αναλυτικά στον Οδηγό Σπουδών του προγράμματος και μπορεί να τροποποιείται με εισήγηση της ΕΠΣ και απόφαση της επισπεύδουσας Σχολής ΕΜΦΕ, για λόγους προσαρμογής στα σύγχρονα επιστημονικά και τεχνολογικά δεδομένα.

Η εκπαιδευτική διαδικασία του ΔΠΜΣ «Μικροσυστήματα και Νανοδιατάξεις» πραγματοποιείται κυρίως δια ζώσης ή και με μεθόδους σύγχρονης εξ αποστάσεως εκπαίδευσης εν όλω ή εν μέρει. Παρέχεται επίσης η δυνατότητα μερικής φοίτησης!

Κανονισμός Σπουδών